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Keithley推出第三代晶圓RF量測系統

上網時間: 2005年03月16日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Keithley  晶圓  RF  量測  吉時利 

美商吉時利儀器(Keithley Instruments)近日發表半導體參數製程控制用的第三代晶圓射頻量測系統。該系統可提供連續、自動、即時監控量測品質等功能,並具備高品質、高產能、低操作成本,以及簡易操作的特色。此外,在高效能邏輯與類比IC的生產上,吉時利的RF測試系統並已經由200mm與300mm晶圓廠認可。

吉時利的第三代晶圓RF量測系統可讓測試機自動偵測會使RF校正失效的事件,並自動觸發無人化自動重校的矯正行動,也可以時間為觸發事件,例如時間期滿的重校正。該系統也可自動驗證探針接觸點的品質,在必要時觸發自動探針清潔動作。此外,該RF測試功能加上Model S680的SimulTest功能,可在同一次探針接觸下同時執行DC及RF量測。

該系統與Model S680參數測試系統結合時,則能提供在40GHz下測試頭直接定位的功能,而在手動更換探針卡的時間內完成自動更換RF探針卡的動作,提升系統產出。這項自動更換探針卡的功能可避免人工干預所造成系統間RF量測結果的變異以改善量測完整性,並降低作業成本。

SofTouch功能則能在符合量測品質條件的探針接觸動作下,將探針的針壓減至最低,大幅提高探針卡的壽命。吉時利的Probe Card Manager功能則可與RF探針卡整合,提供連續、自動的探針下探動作,以及剩餘壽命的監控,進一步減低探針卡的成本。

為達高k值電晶體的生產參數製程控制,吉時利採用RF-CV方法取代傳統的CV或MFCV量測,讓晶圓廠能更緊密控制65mm以下高效能邏輯IC的等效閘極厚度。RF IC設計公司可採用該RF測試解決方案,以BiCMOS的標準數據如ft或fmax等作參數生產製程控制;而SOC製造商則能將此系統應用於評比電路,以及LNA或手機用濾波器的功能測試。

吉時利的40GHz RF解決方案可配合晶圓廠現有的自動DC生產探針台,使DC及RF測試在同一台機器上作業,而無需將晶圓在僅測DC的機台與僅測RF的機台間移動,可減低約三分之二的成本,並降低維護與作業員的成本。吉時利新推出的Model S680與Model S470系統上已可提供第三代RF測試功能,並可以在現有Model S600及Model S400系列裝置上現場更新升級。





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