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Cymer與Zesis合資新公司 以新技術搶進FPD市場

上網時間: 2005年07月29日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Cymer  Zesis  FPD  平面顯示器  TCZ 

平面顯示技術不斷朝向更高亮度、畫質、廣視角與高速等視訊性能,而其價格卻相對持續的滑落,如何有效地同時大幅降低成本與提高產出,便成為LCD製造商的一大挑戰。為了因應日益成長的市場需求與提升面板量產產能,美國Cymer與德國Carl Zesis近日宣佈合組成立新公司TCZ(Team of Cymer & Carl Zesis),該公司並已開發出新款面板生產工具TCZ 900X,可用以改善TFT LCD面板生產過程中最具關鍵性的LTPS製程,從而進軍亞洲快速成長的平面顯示器市場。

針對LTPS製程在面板結晶均勻性的限制與過高的成本,而影響到廣泛應用的LCD面板量產和產能,TCZ所推出的新款面板生產工具TCZ 900X採用細光束方向性結晶(Thin Beam Directional X'tallization)技術,據稱將則有助於使LTPS製程結合多晶矽的優勢,以提高面板產出效與良率。

TCZ新任執行長Brian Klene表示,「這項創新的面板生產設備結合了Cymer公司的雷射技術與Zesis的光學與精密工程技術,將有助於改善顯示器性能、提升面板製程的良率,並可大幅降低LTPS製程時的結晶化成本。」

一般在進行玻璃基板的處理所使用的準分子雷射退火(ELA)製程會導致面板結晶晶粒不均勻的缺點,而連續側向結晶(SLS)製程技術在退火後形成的間隔性突起也會影響到閘極介電層的均勻性。TDX製程則是採用一個細長(5um x 730mm)的雷射光束,透過一次雷射脈衝下覆蓋整片玻璃基板的寬度,玻璃則以定速移,配合雷射激發來完成整個過程。下一個脈衝將與前一脈衝重疊,並接續前一脈衝的晶種,從而使整片面板達到均勻又連續的結晶過程。

因此,透過TCZ 900X設備將可使面板製造商生產晶粒均勻性較佳的面板,以提高製程量產產能,並實現較平坦化的佈局使閘極介電層更易量產,以降低生產成本。而藉由整合降低的驅動電壓、更小的TFT開關與LTPS製造,更可達到高解析度、低耗電率的高效能面板生產。TCZ-900X可應用在主動式矩陣液晶顯示器(AMLCD)、G4系統整合面板(SOP)和下一代OLED顯示器。

此外,Brian Klene並解釋,擁有合資60%股份的Cymer和擁有40%股份的Carl Zesis所合組的新公司TCZ總部將設於美國聖地牙哥,該公司相當看好台灣、日本與韓國的顯示器市場,並計劃將在今年第三季向亞洲面板製商提供TCZ 900X的評估測試,預估2006年可開始量產。

作者:洪淑賢 ╱ 電子工程專輯





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