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Memsstar推出MEMS元件氣相製程系統

上網時間: 2005年12月05日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:微機電  Micro-Electro Mechanical Systems  MEMS  Memsstar Technology  Memsstar 

蘇格蘭微機電(MEMS)與奈米系統晶片研發公司Memsstar Technology日前宣佈,為滿足快速成長的消費性奈米科技產品與電子週邊設備的需求,將於數月內推出全球Memsstar產品品牌。該產品將提供更先進的奈米技術,以及微機電開發與製作,並應用在汽車安全氣囊、生物醫學、通訊,以及消費性產品裝置上。

Memsstar Technology的「Memsstar」系統是利用最先進的氣相製程系統(Vapour Phase Processing System)取代目前的液體製程(Wet liquid Processing)方法,並以先進的製程控制和製成順序予以整合,以應用在MEMS元件的釋出和表面工程上。

該系列Memsstar產品日前已成功出售給蘇格蘭微機電中心(The Scottish Microelectronics Center,SMC)。該產品將安裝在SMC位於愛丁堡的先進研發設施–class 100無塵室中,進行前端元件和材料的研發;該無塵室環境也提供給其他微機電和奈米科技公司使用。





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