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AVIZA為華亞科技提供新一代單晶原子層沈積系統

上網時間: 2006年06月01日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:AVIZA Technology  AVIZA  Inotera Memories  Inotera  華亞科技 

半導體設備及製程技術供應商AVIZA Technology宣佈將為台灣華亞科技(Inotera Memories)提供新一代單晶原子層沈積(ALD)系統Celsior。此一系統將用於華亞的晶圓一廠生產其90奈米和75奈米DRAM晶片。成立於2003年1月23日的華亞科技是由Infineon Technologies和南亞科技共同出資設立。華亞的生產設施採用溝槽技術,生產高密度和高性能的商用DRAM產品。

單晶原子層沈積市場的技術和製程解決方案Celsior的一項關鍵特性是其經過生產驗證的平台。該平台是Aviza與Trikon Technologies合併前,由雙方聯合開發的合作夥伴關係的結晶。同樣的軟體平台已被用於全球各地晶圓廠生產環境中的化學氣相沈積(CVD)、物理氣相沈積(PVD)和蝕刻系統中。此開發合作使Aviza能夠致力於研製一個為解決原子層沈積製造挑戰的製程反應室。

為了確保獲得更低的運作成本(CoO),Celsior配有一個能提高量產,降低化學物質消耗量和延展製程範圍的創新反應室,Celsior的專利噴頭設計可以滿足原子層沈積嚴格的製程要求,包括在300mm晶圓上也可取得小於百分之一的厚度均勻性要求。該系統立基於一個可靠且經過現場驗證的傳輸中心,該中心包含一個強韌的控制系統,如此一來可確保該系統的運轉時間和可用性的延長。Celsior的設計也可依需求增設製程反應室,以為日後的擴充或新技術需求殿下基礎。

根據VLSI Research的預測,原子層沈積將成為半導體產業中發展最迅速的領域之一,其2006年至2011年的年複合成長率可達到22.8%。而AVIZA表示,Celsior是該公司原子層沈積產品系列中的增補產品。憑藉其可變批量ALD工具 ,Verano 5500,Aviza已做好提供技術和特定應用的製程解決方案的充分準備,以支援其客戶的單晶和/或可變批量原子層沈積製造需求。




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