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力晶藉助應材設備提升12吋月產能 目標10萬片

上網時間: 2006年07月12日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:力晶  應用材料  DRAM  RTP  Vantage 

台灣DRAM製造大廠力晶半導體(PSC)的12晶圓廠月產能將向8.5萬片挺進;半導體設備供應商應用材料(Applied Materials,應材)宣佈,力晶向應材採購的第200台12吋晶圓製造設備──—快速增溫處理系統(RTP)已進廠裝機,將成為產能提升的重要指標。

應材表示,力晶所採購的快速增溫處理系統已廣泛地使用在氧化處理(RTO)、氮化處理(RTN)及回火處理(Anneal)上,其中新一代的工作平台Vantage更被力晶12A、12B及12M應用於各項記憶體的製造流程中。

為了強化技術及成本優勢,力晶積極進行12吋晶圓廠產能擴充,除了既有的12A廠與12B廠每月投片量已達8.5萬片以上;向旺宏電子購買的12M廠也將於2006下半年裝機投產。預2006年底,力晶12吋投產月產能將超過10萬片以上。




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