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奧寶發表可提升FPD製造良率的Metrology-on-AOI方案

上網時間: 2006年11月06日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:奧寶  Orbotech  平面顯示器  Metrology-on-AOI  AOI 

奧寶科技(Orbotech)宣佈推出專為平面顯示器製造業設計的新一代Metrology-on-AOI解決方案,包括線上或離線的自動光學檢測(AOI)系統與整合EYES-2020製程資料分析系統,可將高準確性的計量學運用在AOI等系統上。

將一部分的計量學原理運用CD/OL測量是每一個TFT-LCD製造廠確保精準的面板尺寸所必備的技術。同樣地,對於每一層級內各種不同製程階段中,自動光學檢測(AOI)更是不可或缺。因此,一個結合這些功能系統將可降低線上所需設備的數量,有效節省設備的資金支出、無塵室的空間以及維護成本,同時,也可增進營運績效與品質管控。

奧寶所研發的Metrology-on-AOI概念,消除了傳統用在CD/OL測量上耗時與低效率的打樣方法。於是,不需等候從生產線上轉移到離線計量系統就可取得玻璃面板樣本。而現在這些量測方法可以在每次生產線上,利用AOI系統檢測每一個玻璃面板有無製造瑕疵時一併完成。因此,使用者可立即獲得包括處理鑑定製程偏差的資料分析,以及當任何明確的途徑或線上來源的尺寸超過範圍發出即時警示。

奧寶科技亞太區顯示器部門業務副總Eitan Oppenhaim表示:「此一新觀念運用在大型液晶電視製造設備,將計量技術與AOI結合於單一系統內已獲得客戶廣大的迴響,客戶可比以往更為快速建置生產線並減少成本。建置速度對於LCD面板製造業者而言就像節省營運管銷一樣重要。」




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