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技術種類多樣化 MMD完成MEMS產能擴充

上網時間: 2007年09月20日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:MEMS  代工廠  感測器 

Midwest MicroDevices (MMD)日前宣佈已擴充其MEMS工廠的產能;該公司產品種類在過去的12個月中存在著明顯的侷限性,而如今已可以接受範圍更廣的訂單,所擴充的產品類別包括熱感測器、壓力感測器以及一些非MEMS薄膜元件。

MMD是一家純晶圓代工廠,產品可應用於電子儀器、電信、生物醫藥、航空航空和國防等領域。此外該公司MMD還表示自己是一站式(one-stop) MEMS工廠,目前已經在不同的基板上製造出了產品,如玻璃基板和SOI基板。其技術還支援其他的一些基板,包括陶瓷和碳化矽(silicon carbide)。

該廠的微影尺寸通常為3至5微米(micron),最小可達1微米。2008年初,該公司準備將一台步進式微影機(stepper)安裝到生產線中,用以支援次微米微影。其他的一些核心製程還包括LPCVD、PECVD、電子束蒸發、濺射以及半導體前段溼式製程(wet-bench processing)。在晶圓後段製程上,MMD可提供晶圓切片服務和晶圓級封裝。公司稱在未來的幾個月內將擴充晶圓接合(bonding)的能力。

(參考原文:OOhio firm ramps MEMS foundry)

(Mark LaPedus)




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