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Keithley與Stratosphere攜手實現先進製程特性分析

上網時間: 2008年03月14日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Array TEG  StratoPro  S600 

美商吉時利儀器(Keithley Instruments)宣佈,該公司將與Stratosphere Solutions合作運用Array TEG (測試元件群)技術,以支援先進製程的開發和監控。結合Keithley的S600系列參數測試系統與Stratosphere的StratoPro IP,雙方將共同為客戶提供獨特的特性分析架構,協助其實現高產量、高流量且可靠的參數量測。

Keithley的S600系列參數測試系統能針對先進的元件技術進行調整,協助晶圓廠與晶圓代工業者降低測試的成本,還能以極低的成本改為DC、RF或是array TEG測試器,藉由設備資產的再利用,降低整體測試成本。

Series S600的最新成員Model S680,在單一測試系統中,融入平行測試功能、高DC靈敏度分析、fA等級的解析度、以及高達40GHz的RF S參數量測功能,在65nm技術層級,提供業界最高的處理速度以及更低的持有成本。

Stratosphere Solutions是專為IC廠商提供創新參數良率改良方案的廠商。其StratoPro是一款Parametric ActiveMatrix矽晶IP平台,讓晶圓廠與輕晶圓廠客戶能進行高準確性的特性分析,並得到各項電氣參數及其變異等晶粒內的統計數據。

客戶可選擇經過65nm與45nm矽實體驗證的StratoPro平台,因為它提供10到1000倍的測試結構密度,能執行極高解析度的量測,搭配Keithley的測試器平台,更大幅縮短測試時間。晶圓廠客戶可在製程開發初期、良率提升,以及生產監控等階段運用StratoPro;輕晶圓廠客戶則可運用這款解決方案來分析與設計模式有關的製程變數。




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