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Cascade Microtech開發整合式半導體量測系統

上網時間: 2008年06月04日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:半導體元件  整合量測系統  精確度 

為應對日益上漲的新製程節點開發成本,Cascade Microtech開發出可用於晶圓上半導體元件特性鑒定和製程開發的新整合量測系統方案。此方案可提高產品性能和量測精確度,提供更好、更快的服務和支援,並且可將以前把多個供應商的系統組合在一起的傳統做法拋棄。

由於每個系統都設計成具備可量測由最低(ground)至最高的測量能力,Cascade Microtech的整合量測系統號稱是唯一可提出得到測量精確性認證的系統。該公司的首個完全整合量測系統──EDGE閃爍雜訊(flicker noise)測量系統,就能處理極為困難的挑戰;Cascade Microtech相信經由整合量測系統能夠解決一些其他的關鍵測量上的問題。並將會在今後幾個月內發表。





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