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Axcelis推出Integra RS乾式光阻去除清洗系統

上網時間: 2008年09月10日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Integra RS  光阻去除清洗系統  記憶體 

Axcelis Technologies推出全新Integra RS乾式光阻去除清洗系統,讓Axcelis成熟先進製程能力擁有更高的生產力與彈性。此一全新系統已有現貨供應,號稱可為目前市場上的尖端記憶體邏輯元件提供最高的製造生產力。

Integra RS系統獨特的多反應室(multi-chamber)設計包括了成對的反應室製程模組,可以達成最高產出。由於每一成對的反應室皆可以獨立運作,因此使用者在單一模組執行維修或預防保養(PM)時,其他模組仍可持續運作而不影響產能。

在各種先進清洗製程的應用,上述這項彈性的功能讓此一系統成為大量生產環境中的最佳選擇。同時,此一平台也具備了解決未來技術節點所要求的挑戰,像是採用先進微影與high-k金屬閘(High-K/ Metal Gate)等技術。

Axcelis 已在今年第三季運交兩套Integra RS系統;第一套將運送至歐洲先進的研究單位以支援32/22nm的合作研究計畫,而第二套系統則將運交給本公司現有的記憶體製造客戶。





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