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Dow推出OPTIVISION 4540化學機械研磨墊

上網時間: 2009年10月07日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:OPTIVISION 4540  化學機械研磨墊  銅阻擋層 

陶氏電子材料(Dow Electronic Materials)推出OPTIVISIONTM 4540化學機械研磨墊,該產品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實現低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用獨特的聚合物化學組成和細孔結構,可達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低,並提供更高的介電層去除率。

OPTIVISION 4540研磨墊擁有雙孔結構以精確控制研磨,並且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。OPTIVISION 4540研磨墊適用於使用傳統軟墊的多種應用;尤其在銅阻擋層研磨方面。相較於POLITEX研磨墊產品,OPTIVISION 4540研磨墊在顫動和微劃痕缺陷率方面具有更高一個數量級的優勢,以實現更高良率;而其四乙氧基矽烷(TEOS)去除率提高40%,可實現更高產量與更低擁有成本。

陶氏電子材料研磨墊行銷經理 Dave Ventura表示,該新款研磨墊目的是直接因應市場對更高產量和更低缺陷研磨墊的需求。客戶測試顯示,OPTIVISION 4540研磨墊的穩定性超過了1000個晶圓片。這些初步結果明顯表現,這款研磨墊能夠在較長的使用壽命中以極低的擁有成本實現一致的高效表現。

這款研磨墊可與陶氏的ACuPLANE 5100系列研磨液一起使用,以實現更高性能。OPTIVISION 4540研磨墊擁有多種尺寸和配置,包括最新的視窗選項,適用於目前的和先進的技術節點和平台。陶氏目前已可提供OPTIVISION 4540研磨墊的試樣,該產品將於今年第四季上市。





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