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Norcimbus的變流體氣體混合系統60天實現ROI

上網時間: 2009年10月16日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:氣體  自動化  NBlend 

Norcimbus FCIV, Inc.日前針對半導體及太陽能業者推出了NBlend變流體氣體混合設備。NBlend攪拌設備無須使用特殊氣體鋼瓶,只要使用廠房內現有的大宗氣體供應基礎設施,透過在室內攪拌本身的特殊氣體,可大規模降低成本。據表示,此設備可以在最少60天內即實現投資報酬率(ROI)。

Norcimbus是無顆粒高純度氣體設備暨自動化設備供應商。該公司表示,一部價格為$100,000、最大流量為50slpm的NBlend設備可以達到60天內投資回報率。設備若依24*7,每年365天運轉,持續流量為40slpm,則大宗氣體花費為每立方公尺$1,特殊氣體鋼瓶(每個6,000升)花費為每個$180。

“NBlend攪拌設備展現了半導體以及相關的製程的變革,”Norcimbus總裁John Wheeler說,“處理控制的進展加速了氣體混合的大規模發展,並為生產者提供了一個獲利以及持續節省開支的管道。”

Norcimbus NBlend設備透過系統的閉合環路回饋以及分析功能,展現了其技術優勢。這些可以使設備保持攪拌氣體的極其精準的參數,精確比率為正負%0.3。當MFC為基礎的設備必須按照設定的流量率進行攪拌時,結果是對排出氣體進行通風,NBlend設備可以衡量真實的攪拌並且實時運行攪拌,使氣體可以按照需要進行傳輸並減少了資源的浪費。

“半導體製造行業正在積極尋求降低成本的技術領域,而我們對於氣體傳輸的努力直接達成了這個目標,同時也能夠保證關鍵性制程所需要氣體的純凈度和連續性,”Wheeler表示,“最基本的是NBlend設備可以實現快速的投資報酬率,根據生產需要通常是在六個月內實現,同時可以最大程度實現減少浪費,以及丟棄廢棄氣體對環境造成的影響。”

Norcimbus的NBlend設備透過整合MFC攪拌設備、緩衝罐、集中分析儀以及擁有專利技術的PPV控制器拓展了現有的氣體攪拌製程。設備的設計可以攪拌兩種氣體到可調整的比率,同時供應達到250slpm的可變的持續流量,集中分析儀同時監測並且調整攪拌比率以維持集中定點。設備可以提供所要求比率正負%0.3的控制精確性,允許其透過可變的流量率以及可調整的攪拌比率來傳輸持續的結果。





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