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感測器/MEMS  

InvenSense推出整合三軸感測器的MEMS陀螺儀

上網時間: 2009年10月29日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:MEMS陀螺儀  感測器  ITG-3200 

InvenSense發佈最新開發的ITG-3200三軸MEMS陀螺儀,據稱這是首款在單一矽晶片上嵌入三軸旋轉感測器(X軸:pitch、Y軸:roll、Z軸:yaw)的整合性陀螺儀,可作為遊戲與3D遙控應用的理想運動處理技術解決方案。

藉由創新的系統性整合與數位輸出設計,ITG-3200能夠滿足市場對於成本的需求;同時,與其他多晶片組的競爭廠商相較,ITG-3200的耗電量不僅降低了50%以上,封裝尺寸(4x4x0.9mm QFN)也縮小了67%左右。ITG-3200目前已開始試樣,據InvenSense表示,該新產品在大眾市場大量訂購的單價將低於US$3。

藉由InvenSense專利的Nasiri-Fabrication製程平台,目前已產出約一億個陀螺儀軸產品。InvenSense更將製程技術從6”推到8”晶圓技術,不但增加了產能,並同時達到更低的測試與包裝成本。ITG-3200也改為較小的CMOS製程處理技術,與先一代InvenSense的陀螺儀相較之下,增加了功能,降低了價格,並增加了每片晶圓可生產之晶片量。ITG-3200由高自動化之InvenSense台灣廠進行測試及校正。

ITG MEMS陀螺儀結合了許多先進技術,包括整合性三軸技術消除軸間干擾及零角速度狀態之偏差漂移(zero rate offset shift);以數位輸出端來排除外接型高解析類比/數位轉換器(ADC);MEMS結構設計與小尺寸製程技術,與其他三軸陀螺儀相較,提供最長的電池壽命;而且,它擁有最小的封裝尺寸(4x4x0.9mm)。

ITG-3200的設計,是由三個獨立的MEMS陀螺儀,建構在單一矽晶片上,來提高整體的效能,並整合三個高解析度之16-bit的類比/數位轉換器(ADC),在轉換高速度動作遊戲時,同時能提供精細的指標控制,由是以單一晶片減化系統設計來排除對訊號處理及其他許多外接零件的需求。ITG-3200整合了低通濾波器,內建溫度感測器,以及快速模式的I2C(Fast Mode I2C)介面。

為因應激烈的動作遊戲,ITG-3200的效能特性還包含可達2000°/sec的全域感測範圍(full scale range),0.03°/s/√Hz的低雜訊,以及高達10,000g的耐震度。

ITG-3200已與特定廠商開始試樣,並預計在2010年Q1量產。





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