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安捷倫推實驗室用小型掃描式電子顯微鏡

上網時間: 2010年08月20日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:FE-SEM  實驗室  成像  imaging  場發射 

安捷倫科技(Agilent Technologies Inc.)新推出一款場發射型掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)── Agilent 8500,是一款能讓研究人員在實驗室內進行低電壓、高效能成像(imaging)所需的場發射型掃描式電子顯微鏡。

Agilent 8500經最佳化後可提供低電壓成像能力,並具備超高的表面對比,以及通常只有在較昂貴的大型場發射型顯微鏡中才看得到的解析度。Agilent 8500 FE-SEM的大小與雷射印表機差不多,並且提供方便的即插即用(plug-and-play)效能。不需要用到專屬的設備,只要一個交流電源插座就夠了。

Agilent 8500 獨特的科學等級系統提供了好幾種成像技術,可增加材料的表面對比。透過Agilent 8500可觀察各種奈米結構材料上的奈米特性,包括任何基板(甚至玻璃)上的聚合物、薄膜、生物材料、以及其他能量敏感度高的樣本。

Agilent 8500 FE-SEM在非導電樣本的處理上可以不需要鍍膜,因鍍膜可能遮蔽奈米特性;也不需藉助加壓操作,加壓操作可能會降低解析度。連續改變的成像電壓可以當成一個操作參數在500 V到2000 V的範圍內進行調整,而非當作一個設定選項。此外,該系統使用一個四段式微通道板(MCP)偵測器,沿著兩個正交方向提供拓樸成像,以增加表面細節。該技術已被證實可清楚解析結晶物質(例如多形體結構的6H-SiC)表面上的次奈米原子台階。

矽基微製造(Silicon-based microfabrication)技術,讓安捷倫得以設計和製造一個小型的靜電電子束,並將它與場發射型電子源結合以構成Agilent 8500。Schottky場發射型電子源可提供高亮度及一致、持久的效能。該系統的輔助和反向散射電子偵測功能,可為每個樣本提供豐富的資料。

Agilent 8500的靜電鏡頭設計提供了可重複的效能,不像傳統SEM的電磁鏡頭因為磁滯的關係必須不斷地縮回。XYZ可程控階段(programmable stage)可讓研究人員立即儲存及回到任何操作設定,這使得Agilent 8500成了多使用者環境的最佳選擇。





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