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感測器/MEMS  

X-FAB宣佈其MEMS專用貴金屬生產線完工

上網時間: 2012年06月19日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:MEMS  X-FAB  貴金屬  生產線  感測器 

在幾週前於美國舉行的感測器博覽會(Sensors Expo show and conference)上,X-FAB Silicon Foundries宣佈兩大微機電系統(MEMS)業務里程碑:其MEMS及後CMOS處理專用的貴金屬生產線的完工,和第十億顆MEMS元件的裝運。

這專為 MEMS 的生產線,擴展了X-FAB在德國愛爾福特現有MEMS的能力,和添加金屬沉積和陣列化的能力;該新生產線一年可以處理大約 10萬片晶片,並將能應付在迅速擴大中的消費性電子、手機和電腦市場的 MEMS 元件需求。擴展工作於 2011 年年底開始並於本月如期完成。完整的設備集也已安裝完畢並符合量產的條件。

X-FAB MEMS的產品線經理Iain Rutherford表示:「新建置的貴金屬生產線,進一步證明我們對 MEMS 製造的承諾,加上我們較早的 8吋 MEMS 能力,我們為晶圓片製造提供更多附加價值。自1995 年,我們已生產了十億個MEMS元件,其中包括陀螺儀、加速度感測器、壓力感測器、熱電堆和微流體設備,以及 CMOS 整合MEMS 感測器和晶圓級封裝的元件給於消費性、汽車和醫療的應用。添加新的微機電系統設施,反映我們全力支援我們客戶在微機電系統、感測器和類比/混合訊號技術代工服務。」





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