作者:
藍羽
等級:
鐘點工讀生
積分:
120分
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且面臨大量使用透明電極材料的平面顯示器產業(Flat-panel displays)和製作薄膜太陽電池的透明電極之強力需求,導致價格不斷攀升。又由於ITO 在高溫應用下表現不穩定,所以近二十年來,Non-ITO 透明導電膜逐漸受到重視,本研究主要想針對目前具有發展潛力的Non-ITO 透明導電膜(Ga doped ZnO,GZO、Al doped ZnO,AZO)鍍膜與性能進行研究,找出可以與ITO 之光和電的特性相抗衡的金屬氧化
物薄膜。
除了傳統的ITO 材料外,摻氟或摻銻氧化錫(FTO、ATO)、摻鋁或摻鎵氧化鋅(AZO、GZO)等材料,亦是不錯的TCO 材料。其中摻銻氧化錫(ATO)與工業常用的ITO 比較,ATO 薄膜機械性能和熱穩定性更高。
另外含不同成分的In、Sn、Zn 等氧化物所組成的TCO 材料亦具有相當發展性。目前工業中最熱門研究的當屬ZnO系列的材料的TCO材料。原因在於Zn 蘊藏豐富,價格便宜,比ITO 更易蝕刻,因此被期
待成為ITO 薄膜的替代材料。 |
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