Apogee推出新型全矽壓力感應器

Apogee Technology公司推出Sensilica系列「全矽(all-silicon)」壓力感應器。與現有產品相較，該公司表示，其首款MEMS產品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相當的優勢。此外，Apogee公司還計畫在年內推出六款新的Sensilica產品以滿足工業、消費、汽車、醫療和HVAC等領域對壓力感應器的需求。

Sensilica感應器的關鍵性優勢在於採用了新穎的製造和設計方法，使感應器的尺寸比現有產品減少了四倍。這種產品無需使用多個元件來實現壓力感應，因而有效地降低了成本，提高了產品的可靠性。此外，Sensilica感應器結構牢固，能有效降低感應器在過壓條件下出現故障。

首推的Sensilica產品是每平方英吋0-75磅壓力的感應器晶片，特別適合尋求極小尺寸下低成本、高性能絕對壓力感應測量產品的OEM廠商使用。該公司現已推出工程樣品，計畫於2005年下半年正式量產。