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化學氣相沉積：高密度電漿源
關鍵字：化學氣相沉積 高密度電漿源 電容式 二極體 射頻功率
電容式「二極體」電漿源常見於化學氣相沉積，其反應腔製造簡單並且具備多種功能，但是也有些限制。增加射頻功率未必能增加電漿密度：尤其在低壓下增加的功率並無助於氣體離子化，只是徒然浪費在漸增的離子轟擊和熱電子產生上。電漿電位(位於電漿與腔壁間的平均電位)可以達到非常高，因而導致腔壁被濺擊和基材被污染。為了要克服這些缺點於是就有替代電漿源的問世。本文介紹三種替代電漿源：微波、感應偶合式和電子迴旋共振，其中後兩者被用來產生高密度電漿源。
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