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化學氣相沉積:高密度電漿源

上網時間: 2005年09月09日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:化學氣相沉積  高密度電漿源  電容式  二極體  射頻功率 

電容式「二極體」電漿源常見於化學氣相沉積,其反應腔製造簡單並且具備多種功能,但是也有些限制。增加射頻功率未必能增加電漿密度:尤其在低壓下增加的功率並無助於氣體離子化,只是徒然浪費在漸增的離子轟擊和熱電子產生上。電漿電位(位於電漿與腔壁間的平均電位)可以達到非常高,因而導致腔壁被濺擊和基材被污染。為了要克服這些缺點於是就有替代電漿源的問世。本文介紹三種替代電漿源:微波、感應偶合式和電子迴旋共振,其中後兩者被用來產生高密度電漿源。

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