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Genus的ALD設備獲茂德12吋廠採購

上網時間: 2005年09月21日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Genus  ProMOS  AIXTRON  原子層沉積  ALD 

AIXTRON集團旗下半導體製程設備業者Genus宣佈,台灣記憶體業者茂德科技(ProMOS)將採購該公司原子層沉積(ALD)系統產品;該系統將應用於茂德位於中部科學園區12吋晶圓廠Fab3,採用90nm技術生產高階記憶體。

Genus的12吋ALD系統可同時用於生產sub-70nm及其以上的高階DRAM MIM薄膜(film);AIXTRON表示,在併購該公司之後,集團在ALD、AVD、CVD和MOCVD等沉積技術在奈米及製程的應用上,具備更完整的支援能力。目前該集團積極在亞洲地區拓展客戶群。

除ALD系統,Genus也再次獲得茂德採購12吋廠用的CVD設備訂單。





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