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KLA-Tencor推新型磁性度量系統

上網時間: 2006年06月16日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:KLA-Tencor  硬碟  MRAM  封閉環磁系統  fab-ready 

KLA-Tencor日前針對硬碟機(HDD)以及半導體記憶體市場,發表了第三代磁性度量系統MRW3。該系統以MRW200平台為架構,能測量產品中HDD讀寫頭及磁電阻式隨機存取記憶體(MRAM)的磁性質,以利生產控制並儘早偵測到對良率有不利影響的製程問題。

MRW3採用專利封閉環磁系統(closed-loop magnet system),提供了絕佳的磁場重複性(低於0.1厄斯特)。每個電阻/磁場轉換曲線比低於1秒。此外,MRW3也引進了如GEM/SECS工廠自動化特色,高可靠性(1,000小時MTBF)與200及300mm雙重配置,是首個「fab-ready」(可立即用於晶圓廠)的準靜態檢驗系統。目前MRW3已在一家半導體製造公司中完成大量測試評估。

KLA-Tencor表示,先進的HDD讀寫頭及MRAM在其核心技術中使用磁性穿隧接合,是下一代非揮發性固態記憶體的領先選擇。MRW3系統整合了特別的功能以加速此一重要新技術的開發,包括定壓電子和位元切換測試,其測量能力將能使用磁性穿隧接合加速裝置的開發與生產。




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