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Integrated Materials多晶矽爐具獲Aviza採用

上網時間: 2006年06月20日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Integrated Materials  SiFusion  RVP-300plus 

Integrated Materials宣佈該公司的SiFusion晶片架式蒸發皿(wafer shelf boats),已獲得Aviza Technology應用於RVP-300plus擴散爐(diffusion furnaces)。擴散爐是做為12吋晶圓的高溫退火處理應用,而SiFusion架式蒸發皿,號稱可讓Aviza爐具因應晶片製造廠對晶片滑動、金屬污染物、坡度和熱穩定率等方面條件的要求。

Integrated Material指出,專為降低晶片所承受壓力的高溫製程,使爐內固定裝置面臨許多挑戰,包括晶片滑動、晶格應變以及其他可能導致裝置效能下降的不穩定性。SiFusion採用純多晶矽製造,由於具備結構穩定性,能在苛刻的溫度條件下正常工作,不會發生變形,在製程中可承受的最高溫度達1200°C。而採用SiFusion的Aviza爐具進行高溫氮氣退火之過程中,可避免晶片滑動的現象。

SiFusion產品系列包括用於所有立式爐具的蒸發皿、注射器和基座,適用於8吋與12吋晶圓製程。




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