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Entegris在台發表新型晶圓輸送洗淨設備

上網時間: 2006年09月18日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:FOUP  FOSB  晶圓輸送  洗淨設備 

Entegris公司日前在台北舉辦的SEMICON Taiwan展覽會上展示了其用於洗淨晶圓輸送產品的最新科技創新設備,Process One NU-6000系列洗淨設備採用了新型科技、佔用空間更小、產出量高、而且成本更低。

該系統透過移動空氣吹管,並在乾燥過程中使物件保持靜止,使得佔用空間更小。由於移動吹管,乾燥時間更快,每小時最多可處理14個FOUPFOSB(12吋晶圓傳送盒或12吋晶圓運輸盒)。該系統還具有靈活的設定選擇,並且能處理各種不同12吋晶圓輸送產品,使用極其簡便。Entegris數月前將這種新型洗淨系統推向市場,已經獲得首批訂單。

Entegris的副總裁兼晶圓輸送產品部門總經理Patrick McKinney表示:「Process One NU-6000洗淨系統的靈活設定以及嵌入其中的乾燥科技,顯然是圓輸送洗淨設備的一大進步。此產品瞄準了100奈米以下的半導體製造需要,同時滿足了顧客減小空間和降低成本的需求。我們相信這項科技非常適合台灣及此地區顧客的需求。」




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