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Entegris膠膜鐵環單片運送盒提供晶圓最大保護

上網時間: 2006年09月20日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Entegris  晶圓運送盒  200mm  防靜電 

Entegris推出新型200mm膠膜鐵環單片運送盒,用於傳輸安置在鐵環上面的單晶圓。Entegris表示,由於更小、更敏感之電子元件複雜性不斷增加,使業界在測試和封裝過程中,對儲存和傳輸晶圓更可靠方法的需求日益升高,該公司的200mm膠膜鐵環單片運送盒可以提供最大保護,在傳輸期間微粒形成較低,晶圓移動最小,且無晶圓接觸。

產品的拋物線設計可以防止晶圓接觸;優化的鐵環扣壓設計可以防止膠膜鐵環移動並減少微粒生成;各組件互相嚙合,因此可以堆疊;重量輕,搬運方便。這些運送盒並具有ESD安全(防靜電)功能,以及紅外線識別功能,可以對產品進行追蹤。

Entegris表示,此200mm膠膜鐵環單片運送盒是由該公司的300mm科技衍生而來,目標鎖定在封測過程中尋求最大晶圓保護,更大產量,並尋求降低成本的大型創新元件製造商。目前該設備已可提供給台灣與亞洲地區的客戶。




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