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Entegris在台灣推出新型CHS微影設備產品

上網時間: 2006年09月25日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:微影  193nm 

Entegris公司日前在台灣推出其創新型CHS產品,該產品是Entegris去年八月份與Mykrolis合併後推出的最新產品之一,CHS中採用了Mykrolis過濾及Entegris液體系統技術。

CHS (Controlled Humidity Source)透過穩定干涉測量通路中的濕度來改善階段準確性與重疊性。另一個關鍵應用是濕式微影技術中的相對濕度控制,用於保持對濕晶片發出的蒸氣進行檢查。它還可用於濕式清潔工具,將濕氣或輕度溶劑(例如異丙醇)引入到製程氣體以控制乾燥度,其中控制蒸發率對減少水印及晶片變形等缺陷至關緊要。CHS主要客戶為加工工具OEM。

Entegris氣體微污染控制事業部副總裁兼總經理Devon Kinkead表示:「CHS使我們的光微影技術客戶在充分利用了濕式微影技術的對焦深度及分辨率的同時,又不會降低階段準確度、晶片平面度,也不會增加缺陷率。CHS是迅速發展的193nm微影產品系列的組成部份,我們相信該產品也可以應用到微影以外的其他產業中。」




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