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感測器/MEMS  

明基成功開發新一代MEMS噴墨單晶片

上網時間: 2007年07月04日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:MEMS  噴墨頭 

明基電通(BenQ)日前發表新一代應用微機電(MEMS)整合之噴墨單晶片產品,這是該公司自2005年起執行工業局前瞻應用主導性新產品計畫的研究成果,隨著新一代產品的開發完成,明基希望能藉此開拓更多印表機ODM代工的商業機會。

明基電通公司前瞻技術中心微流技術研發部副理曾繁中表示,明基最早是從2000年起便開始研發第一代的噴墨單晶片,到2003年完成第一張六色彩色列印,並於2004年開始量產墨水匣組及噴墨印表機。

他指出,第一代產品設計是採取背噴式架構,已應用於該公司包括CM3500/3700等型號的多功能事務機。但由於此架構是在2000年就已定好,規格已經有點老舊,為了進一步提升性能與成本競爭力,便於2005年7月通過經濟部工業局的前瞻應用主導性新產品計畫申請,開始進行第二代晶片的研發,希望能提供更精微的墨滴輸出以及高頻率操作頻率。

曾繁中表示,不管是第一代還是第二代的產品,該公司一開始研發噴墨頭晶片時,就採取整合MEMS與MOS驅動電路技術的單石化噴墨單晶片架構,這與目前市場上有些廠商是採取MEMS、CMOS分別製造,再組裝在一起的方式有所不同。

就第一代與第二代的規格比較,曾繁中說,以墨滴體積來看,從5.5pl縮減到4pl、操作頻率則從18KHz提升到24KHz。此外,由於將四色噴嘴全部設計在單一晶片上,因此噴嘴數從432個大幅增加到960個,整個throughput從每秒780萬個墨滴增加到2300萬個,整體效能獲得很大的提升。

曾繁中指出,第二代架構改良了之前的背噴式設計,改採先在表面上塗覆犧牲層,再以乾蝕刻製程技術將墨水腔挖出來。

此一為期21個月的計畫工業局共補助了2000萬元的經費,但明基所投入的資金為5800萬元。除了產品的開發完成,希望能帶來新的商業機會外,在研究成果方面,明基共發表了國內外8篇論文,以及申請了22個國內專利。

曾繁中指出,目前明基並不計畫以此噴頭進行自有品牌的印表機產品開發,而是先以ODM代工業務為主。他表示,從2002年起,該公司的第一代噴頭就已經為品牌業者代工了約15個機種,出貨量已達到1000萬台。新的噴墨頭開發完成後,目前已經開始與日系業者進行代工業務的洽談。

談到國內的微機電產業,曾繁中也表示,其實國內的MEMS產業的規模與能力都相對弱勢。目前其噴墨頭晶片是委由亞太優勢(APM)製造,他也期望能夠透過這樣的分工與合作模式,共同提升國內微機電產業的競爭力。

針對近來MEMS應用在消費性市場的趨勢,曾繁中也指出,目前明基的微流技術研發部門大約有20人,除了噴墨頭的技術開發之外,也將開始著手研究有關MEMS加速度計的開發。

作者:勾淑婉 / 電子工程專輯




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