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ASYST Agile Automation方案強化AMHS系統

上網時間: 2008年07月16日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Agile Automation  AMHS  DLT Lifting Loadport 

整合式自動化解決方案供應商ASYST宣佈推出Agile Automation,這是一種專用於半導體晶圓廠的全新自動化物料處理(Automated Material Handling)方案。

Agile Automation可透過模組化增強現有AMHS制度,以大幅增加晶圓廠的生產力。Agile Automation提供平行加載和卸載工具的性能,同時大幅減少對於置頂輸送工具(Overhead Transport Vehicles;OHV)的依賴,從而顯著縮短並更可預測前開式晶片傳送盒(FOUP)運輸時間,以及改善吞吐量和工具利用。

由於其彈性化和模組化的結構,Agile Automation可簡單地整合於現有的標準工廠自動化系統或新建環境中。這有助於提高晶圓廠生產力的管理以及降低風險。使用Agile Automation解決方案,由於其減少地面空間需求、使用更少的工具和降低功耗,使得晶圓廠能節省更多的成本。

Agile Automation整合ASYST先進的硬體、軟體和服務性能,並允許透過標準介面而無縫地整合至晶圓廠環境的客製化應用。ASYST也為Agile Automation解決方案整合了若干新技術,包含懸吊式搬運車系統(OHT)獨立工具裝載的DLT Lifting Loadport。其他新技術及產品包含ASYSTS新式Satellite Stocker,它提供高效率的近場工具緩衝;適用於高速、高量產材料處理在製程區內(Intra-Bay)和製程區間(Inter-Bay)的應用的Velocity HTC傳輸帶;ASYST的新款VAO軟體則可實現晶圓廠製程和物質流即時視覺化。





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