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光電/顯示技術  

紫外線數位投影在直接成像技術之應用

上網時間: 2008年08月31日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:無光罩  微影  DLP 

無光罩微影技術,又稱之為直接成像,在半導體與個人電腦主機板等產品中,具有極佳優勢,相較於傳統微影技術需使用光罩讓圖像在光阻上成像,無光罩微影技術不但節省成本,使用上也更具彈性。

無光罩微影技術已被討論數年,不過早期的無光罩微影機器使用「飛點式」(flying)雷射點,無法同時兼顧傳統微影技術機器的產量及臨界圖形尺寸(critical feature size);而DLP技術將紫外線(UV)以數位方式投影,因此不必犧牲產品更改的靈活性、製造速度以及臨界圖形尺寸。

本文將依序介紹德州儀器公司DLP技術、如何將數位微鏡裝置(DMD)運用在無光罩微影技術、此項新方法的優點,以及DMD運用在紫外線環境下的高度可靠性。

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