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KLA-Tencor為IC市場推出新型Surfscan檢測系統

上網時間: 2008年09月08日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Surfscan SP2XP  檢測工具  IC市場 

KLA-Tencor推出專為 IC 市場設計的全新控片檢測系統Surfscan SP2XP,這套新的系統是去年該公司針對晶圓製造市場推出的同名工具。全新的 Surfscan SP2XP 對於矽、多晶矽和金屬薄膜缺陷具備更高的靈敏度,相較於前一代產品 Surfscan SP2,加強了依據缺陷類型及大小分類的能力,並配備真空搬運裝置和業界最佳的生產能力。

Surfscan SP2XP全新的功能將協助晶片製造商在晶圓廠內實現卓越的製程工具監控,加速業界尖端的 4X 奈米以上元件上市時程。Surfscan SP2XP 還可提供超高靈敏度操作模式,加速晶圓廠對 3Xnm 和 2Xnm 的次世代元件開發。

KLA-Tencor 改善了光學機械和訊號處理的設計,確保能夠捕捉到在矽晶圓、製程前端和後端薄膜上最細微的缺陷。獨特且具專利的多頻道架構,和創新的演算法,讓 Surfscan SP2XP 系統能自動區分缺陷類型。

與領先業界的前一代產品 Surfscan SP2 相比,Surfscan SP2XP 具備卓越產能,能促使晶圓廠每小時檢測更多晶圓,或使用更高靈敏度的設定,且不會影響產能。Surfscan SP2XP 延續了該平台的一貫好評,並具有可靠性、易用性及系統匹配性。

KLA-Tencor表示已收到來自亞洲、美國和歐洲多家晶圓廠設備製造商、以及邏輯晶圓與記憶體代工領導廠商的Surfscan SP2XP 系統訂單。KLA-Tencor 自 2007 年 1 月針對晶圓製造市場推出 Surfscan SP2XP 系統的晶邊承載裝置版本後,已迅速取得了市場的廣泛肯定,每家晶圓製造領導廠商都安裝了該產品的多項系統。





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