Axcelis推出Integra RS乾式光阻去除清洗系統

Axcelis Technologies推出全新Integra RS乾式光阻去除清洗系統，讓Axcelis成熟先進製程能力擁有更高的生產力與彈性。此一全新系統已有現貨供應，號稱可為目前市場上的尖端記憶體與邏輯元件提供最高的製造生產力。

Integra RS系統獨特的多反應室(multi-chamber)設計包括了成對的反應室製程模組，可以達成最高產出。由於每一成對的反應室皆可以獨立運作，因此使用者在單一模組執行維修或預防保養(PM)時，其他模組仍可持續運作而不影響產能。

在各種先進清洗製程的應用，上述這項彈性的功能讓此一系統成為大量生產環境中的最佳選擇。同時，此一平台也具備了解決未來技術節點所要求的挑戰，像是採用先進微影與high-k金屬閘(High-K/ Metal Gate)等技術。

Axcelis 已在今年第三季運交兩套Integra RS系統；第一套將運送至歐洲先進的研究單位以支援32/22nm的合作研究計畫，而第二套系統則將運交給本公司現有的記憶體製造客戶。