Axcelis推出Integra RS乾式光阻去除清洗系統

Integra RS系統獨特的多反應室(multi-chamber)設計包括了成對的反應室製程模組，可以達成最高產出。由於每一成對的反應室皆可以獨立運作，因此使用者在單一模組執行維修或預防保養(PM)時，其他模組仍可持續運作而不影響產能。

在各種先進清洗製程的應用，上述這項彈性的功能讓此一系統成為大量生產環境中的最佳選擇。同時，此一平台也具備了解決未來技術節點所要求的挑戰，像是採用先進微影與high-k金屬閘(High-K/ Metal Gate)等技術。

Axcelis 已在今年第三季運交兩套Integra RS系統；第一套將運送至歐洲先進的研究單位以支援32/22nm的合作研究計畫，而第二套系統則將運交給本公司現有的記憶體製造客戶。