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Epson Toyocom發表高性能小型石英式大氣壓力感應器

上網時間: 2008年09月26日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:QMEMS  石英式  tuning-fork 

Epson Toyocom公司宣佈開發出高性能小型石英式大氣壓力感應器,得力於英叉式(tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率,以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構,Epson Toyocom的新型石英式壓力感測器能在極小的封裝產品中,同時提供高準確度和高解析度。

新感應器體積僅12.5cc,重量為15g,能提供10Pa或低於約1/10,000bar的精確度,且具有0.1Pa的解析度。該元件預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於9月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此技術,隨後將在10月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)於台灣愛普生科技攤位(K006)展出。

新型壓力感測器的效能與特色可協助縮減裝置外型尺寸,並提升各種氣象及安全性應用裝置的效能;其效能與特色包含:在氣象觀察中準確測量大氣壓力的應用裝置;藉由大氣壓力變化測量高度差異(大約每增加1cm)的應用裝置;以及偵測因內部門窗開關所造成之內部壓力輕微變化的應用裝置。

Epson Toyocom現正利用此產品所使用的原創壓力感測結構,開發其他各種應用裝置的石英式壓力感測器。公司將透過提升以QMEMS為基礎的微型製造(microfabrication)技術、高穩定石英晶體振盪電路技術、及高準確感測技術,致力於增強其感應性能、並縮減外型尺寸。





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