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FSI之POLARIS微影設備獲GaAs元件製造商訂單

上網時間: 2008年11月26日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:微影設備  POLARIS  訂單 

微電子製造表面處理與微影設備供應商FSI International,日前宣佈接獲一家主要砷化鎵(GaAs)元件製造廠商追加POLARIS Microlithography System微影系統的訂單,顯示POLARIS系統傑出的效能表現與彈性能力,再加上15年敏感GaAs基板的處理經驗,使得砷化鎵廠商對此一系統展現日益濃厚的興趣。

FSI POLARIS 微影系統可為100mm到300mm不同尺寸的晶圓提供黏著、光阻塗怖、烘乾、急冷及顯影製程。擁有龐大裝機數量的POLARIS系統已被使用於包括:薄膜磁頭、生醫科技以及砷化鎵等各種應用與產業。同時,FSI的支援服務計畫提供產品與製程強化方案,可協助先前建置的FSI設備延展系統使用週期,進而協助全球客戶實現更高的資本設備投資報酬率。

FSI主席暨執行長Don Mitchell表示:「POLARIS系統所具備的彈性能力可讓客戶不須更改硬體與軟體,即可在同一系統上處理不同尺寸的砷化鎵與氮化鎵基板。此一同步處理不同晶圓尺寸的能力可在不犧牲製程效能的同時提供更高等級的彈性能力。」隨著FSI強化在此一主要市場的持續擴展,來自無線寬頻與有線通訊元件供應商的訂單也可望隨之增加。





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