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FSI的ORION晶圓清洗系統接獲追加訂單

上網時間: 2009年01月12日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:ORION  晶圓清洗  32nm 

FSI International表示,最近該公司的ORION晶圓清洗系統,已接獲一家主要半導體製造商的追加訂單。ORION系統的密閉式處理腔設計,可解決多項前段與後段先進製程的關鍵淨潔問題。

FSI表示,此次追加的ORION系統,預計將用於後段銅/低介電係數導線晶圓的製造。FSI總裁暨執行長Don Mitchell表示,「我們的客戶早已就此一單晶圓技術使用在32nm後段製程進行評估,而經由ORION系統效能的體驗讓他們有充分信心將其價值落實在目前的製造生產上。」





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