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ASM原子層沉積工具獲台晶圓廠訂單

上網時間: 2009年05月04日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:原子層沉積  ALD  閘極 

ASM International宣佈,一家台灣晶圓廠已為其28奈米節點high-k閘極介電層量產製程選擇ASM的Pulsar原子層沉積技術(ALD)工具。此外,這家晶圓廠也將與ASM針對最新世代的high-k閘極技術進行製程開發活動。

ASM在2009年第2季將針對進階節點開發計劃提供額外的Pulsar製程模組。該晶圓廠在過去4年也使用ASM的ALD high-K和金屬閘極設備來開發其以鉿基材料為基礎的high-k閘極製程。

「在28奈米節點上實現成功的high-K製程證明了ASM在製程當中整合新材料的優異能力。」ASM電晶體產品業務事業部經理Glen Wilk表示。「我們的high-K製程證明了在28奈米節點上的生產能力,我們也期望進一步的開發成果能夠將這些利益延伸到未來的節點上。」

ASM的Pulsar是第一款用於high-k閘極量產的工具,其由45奈米節點開始採用,現在已經延伸至28奈米節點。





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