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Crossing的Spartan EFEM協助打造先進自動化製程

上網時間: 2010年06月18日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Spartan  設備前端模組  EFEM  微影  量測 

Crossing Automation公司表示,其 Spartan 設備前端模組(EFEM)已經應用在一家微影與測量設備產商的第二代量測工具中。Crossing表示, Spartan 具備被動背面接觸(PBC)終端受動器設計,可消除邊緣接觸處的微塵,並透過使用專用的聚合物襯墊盡量減少背面的微塵。

Crossing的主要業務是為大型半導體設備產商提供高效且能有效降低成本的前端與後端製程自動化解決方案。Spartan EFEM能針對客戶特定需求進行個性化設計,同時它的平台也很容易實現軟體整合。此外,Crossing還能提供Express Solutions工程支援,以縮短產品上市時間。此訂單表明,Crossing的常壓晶圓加工技術又獲得了一家一線原始設備製造商(OEM)新客戶。

Crossing Automation表示,該公司能與客戶共同設計並提供定製介面,以提高製造製程與測試模組的整合度。透過Spartan,Crossing能以簡潔統一的設計提供完整的EFEM解決方案。此外, Spartan 的 Wafer Engine 機器人的高精度和高可靠性也為它提供了更多的競爭優勢。





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