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Crossing Automation擴展450mm產品組合

上網時間: 2011年11月07日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:自動化設備  半導體  晶圓傳送器  IDM  FOUP 

Crossing Automation 公司日前推出 450mm 晶圓開發平台和 Crossing Certon 450 晶圓傳送器,並宣佈兩款產品均已接獲客戶訂單。晶圓傳送器預計將於今年12月出貨,而開發平台將於2012年第一季出貨。

Crossing Automation市場行銷部副總裁May Su表示,IDM(整合元件製造商)與OEM廠商都在增加450mm晶圓相關產品的開發活動。這些產品突出了我們在新產品開發方面的持續投資,而訂單證明了開發450mm晶圓市場的方向正確。

Crossing全新450mm晶圓開發平台,提供市場一個獨特、成本低廉且占地面積小的系統,這個系統使OEM廠商能夠平穩地把晶圓移入或移出處理艙。這種單一的FOUP(前端開口片盒) EFEM(設備前端模組)透過消除平台開發上所花費的時間,進而加快了OEM廠商研發450mm晶圓產品的生產速度。這種可高度擴展的平台採用Crossing公認的處理技術,由於沒有軟體與硬體介面的變化,使OEM廠商能夠輕易進到量產階段。

Crossing Certon450介面晶圓傳送器提供專利且符合人體工程學的「傾斜—移動」技術,即僅用一個人就能完成安裝、卸載及工具移動。此功能允許快速安裝並快速存取EFEM或加工工具的內部配件,晶圓傳送器80公斤的重量僅行業平均水準的一半,能提供更便捷的服務。

Crossing Certon的其他特色還包括使傳輸最大化的集成製圖功能,及正在申請專利的水準關門機制。水準關門機制可保證艙門確實關閉,以防止損害晶圓與顆粒物的產生。Crossing公司的晶圓傳送器提供廣泛的功能,同時符合450mm FOUP、FOSB(前開口運裝箱)、MAC(多應用載體)的標準。





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