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評論:ASML這次學聰明了

上網時間: 2012年07月13日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:450mm  超紫外光  EUV  微影  三星 

英特爾(Intel)投資設備商 ASML 公司 41億美元的舉動,跟在餐廳侍者上菜前就先付賬的做法沒有什麼不同。但 ASML 有理由這樣做。10年前,當半導體產業開始從200mm晶圓過渡到300mm晶圓時,晶片製造商們便說服工具供應商來為新製程的研發買單,並承諾他們將憑藉著強勁的晶片銷售來回饋給新系統。然而,當網路泡沫來臨時,他們卻溜之大吉,更大的意外是──晶片製造商決定推遲部署300mm產能。

可想而知許多設備界的高層有多痛苦了。特別是幾年前,晶片製造商又談論朝450mm晶圓轉移的談話之際。

許多人打從一開始就對450mm能否成真抱持懷疑態度。現在看來,450mm是不可避免的,儘管傳統的看法都認為只有少數幾家晶片製造商──特別是英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、台積電(TSMC)和 Globalfoundries 等公司有能力建造450mm生產線。

而且,從提出450mm開始,業界就充斥著許多辯論,包括工具供應商和他們的客戶將如何分配轉移到新晶圓尺寸的相關研發成本。市調機構 Gartner 的分析師Bob Johnson本週說,450mm的累計研發成本將達170億美元,而今年度大約佔20億美元。而其他機構則有各式各樣不同的預估數字。

一些剛萌芽的研究專案正在努力進行研發,其中包括由英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、台積電(TSMC)和 Globalfoundries等晶片巨擘共同組成,耗資48億美元的「全球450聯盟(Global 450 Consortium)」在內。

但對部份工具製造商來說,這些遠遠不夠。微影設備供應商 ASML Holding NV公司眼見450mm一再延宕的困境。要轉移到450mm,將會需要全新的微影設備,以及可支援更大尺寸、重量更重的晶圓,而不會發生震動的載台,以避免因震動而導致無法作出精確的微影曝光。 ASML 公司已經預見到,僅有少數晶片製造商會購買新工具,投資報酬率將非常有限。

當然,ASML早已投入450mm晶圓的研發,但這是在該公司啟動一個創新的客戶合作計劃,要求希望轉移到450mm晶圓,以及獲得超紫外光(EUV)微影技術的晶片製造商,也共同投入新技術的研發。

本週一(7月9日),英特爾宣佈以41億美元收購ASML公司15%股份,加快450mm和EUV技術發展。其中除了超過30億美元是用在收購ASML股份外,英特爾也針對新技術的開發挹注10億美元。當然,英特爾也承諾將進一步採購450mm和EUV技術的開發和生產工具。

三星、台積電必須買單

ASML 還將再出售另外10%的股份給其他希望發展450mm晶圓和EUV微影工具的晶片製造商。該公司目前正在和三星、台積電討論。若這些公司拒絕或同意參與,但並未買下10%股份,ASML公司仍願意出售剩餘部份,並將邀請其他公司加入。 (由於ASML訂定的條款,英特爾的股份收購上限為15%。)

整件事看起來,確實像上餐前就先把賬給付掉。但ASML有理由這樣做。 ASML不會在錢沒到位以前就先投資450mm。由於ASML在微影市場舉足輕重,因此沒有ASML投入,450mm就很難發展。

在朝450mm 轉移的過程中,英特爾將獲得最大利益。該公司財務長Stacy Smith表示,預計轉移到450mm將為英特爾節省超過100億美元的製造成本。因此,英特爾只要求ASML報出價錢,毫無疑問,財大氣粗的英特爾也將讓想轉移到450mm和EUV微影技術的競爭對手獲益,因為最終他們也能獲得相關工具。

英特爾已經買下15%股份了。即使英特爾是唯一一家入股ASML,直接支援其技術發展的晶片公司,這家全球最大的晶片製造商也將在每一次競爭對手掏出支票簿來準備購買新工具時,搶先一步贏得先機。ASML公司發言人表示,英特爾態度非常堅定,因為他們看到了開發這些技術的利益所在。

無論是三星、台積電,或是任何其他的晶片供應商會入股ASML公司都有待觀察。入股ASML確實有些好處,特別是在英特爾也投下鉅資之際,毫無疑問,ASML必然會開發450mm工具(還有EUV,儘管該技術距離成熟還很遙遠)。一旦ASML的工具準備就緒,包括三星、台積電和其他任何想跟進的廠商,都得付錢購買新工具。

但三星和台積電將做出明智抉擇,並將參與其中。當450mm工具就緒時,領先的晶片製造商將會立即需要它們。如果三星和台積電放棄這個機會,他們獲得新工具的順序就會排在英特爾之後了。

英特爾已經獲得15%的ASML股權,三星和台積電也都有可能出資買下其他可出售股份,不過這些都是無投票權股份。依常理來看,當客戶真的決定對設備商挹注研發資金共同開發新技術時,他們通常會大加宣揚。三星、台積電和任何其他可能投資的公司若再不展開行動,屆時就可能會發現自己被拒於新技術的門外。

編譯: Joy Teng

(參考原文:ASML won't get fooled again,by Dylan McGrath)





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