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英特爾攜手Nikon開發450mm晶圓步進機

上網時間: 2012年08月09日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Nikon  Intel  450mm  步進機  設備 

據日本經濟報Nikkei Shimbun報導,全球第二大步進機製造商 Nikon Corp. 正與英特爾(Intel)公司合作,開發下一代450mm晶圓製程設備。據報導,Nikon預計2018年可商品化。

有關英特爾將挹注多少資金來支援Nikon目前尚不清楚。據日本媒體報導,英特爾顯然已經決定承擔數百億日圓的Nikon開發成本。

英特爾發言人Chuck Mulloy表示目前不就該報導發表評論。

七月初,英特爾甫收購ASML Holding NV公司15%股份,這項金額達41億美元的交易包含了加快超紫外光(EUV)微影技術的研發,以及其他朝450mm晶圓轉移的所需技術。

英特爾投資的41億美元中,約有21億美元是對ASML公司的股權投資,用於取得10%的ASML公司股份。該公司表示,在不久的將來也將以10億美元買下另外5%的ASML股份。

幾天前,代工巨擘台積電(TSMC)也宣佈以類似方法獲得ASML公司5%的股份。

編譯: Joy Teng

(參考原文: Report: Nikon to work with Intel to develop 450-mm wafer steppers ,by Junko Yoshida)





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