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應材為太陽能製造業推出全自動化晶圓檢測系統

上網時間: 2014年06月06日     打印版  Bookmark and Share  字型大小:  

關鍵字:Vericell  太陽能  晶圓檢測  電池  PL 

應用材料公司(Applied Matrials)推出全新功能的 Applied Vericell 太陽能晶圓檢測系統,可降低工廠生產成本,提升高效太陽能電池生產的整體平均良率。這些新的功能包括100%的線上晶圓檢測,克服人工檢視的品質限制,以及透過光激發螢光(PL)技術,自動預測晶圓電池轉換效率,幫助客戶只處理符合品質和良率規格的晶圓,提高獲利。

應用材料公司副總裁暨能源與環保解決方案事業群太陽能產品總經理Jim Mullin表示:「Vericell系統能做到即時的良率最佳化。我們的客戶現在能以符合成本效益的方式,追蹤進出晶圓的品質,調整生產製程,進而改進良率與電池效率分佈。由於太陽能產業持續跟進「效率時鐘」的腳步,追求更先進的太陽能電池,能控制生產良率成為高價值的問題。 Vericell 系統的價值已在數家客戶端獲得驗證,能在生產時預測良率及提升獲利。」

Vericell 系統運用最先進的 PL 技術,結合多項感應功能與先進的軟體演算法,可從裸晶圓材料預測出最終的電池轉換效率,對多晶矽晶圓的平均預測誤差小於0.15%。去除低效率的晶圓、找出需要製程修改的晶圓,可提高工廠整體更高效電池的產出,進而顯著提升獲利。在運用PL技術做檢測的同時, Vericell 機台的自動化功能就可預測出精確度,並且易於整合到現有的生產線中,讓生產立即受惠。

Vericell 系統的多重整合檢測模組,可自動對每片晶圓進行評估,找出並移除生產中的缺陷晶圓。這套系統會測量並呈報一組參數,包括晶圓厚度、厚度偏差、彎曲度與電阻係數。這套系統也會偵測缺陷,包括鋸痕、裂邊、污漬與微裂紋。透過控制品質及減少人工檢測破片的風險和成本, Vericell 機台可大幅提高客戶工廠的收益。

Vericell 系統的應用材料專用良率管理軟體,可用來收集、彙整與分析即時數據。這套軟體可讓客戶快速找出影響良率的事件,並採取措施,協助整條生產線達到最佳化產能。





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